Sensor de pressió absoluta capacitiu ceràmic
Un sensor de pressió absoluta capacitiva de ceràmica és un tipus de sensor que utilitza ceràmica d'alúmina com a material bàsic i mesura la pressió relativa a un punt de referència de buit absolut detectant canvis en la capacitat.
En poques paraules, és un "condensador variable" que converteix directament la pressió en un canvi de capacitat, amb la seva cavitat de referència tancada hermèticament al buit.
Estructura i principi de funcionament
El seu component bàsic és un nucli de detecció capacitiva de ceràmica, que normalment es fabrica mitjançant una tecnologia de co-co-multi{0}}capa:
Estructura:Consisteix en un substrat ceràmic amb un elèctrode fix i una pel·lícula fina ceràmica (diafragma) que actua com a elèctrode mòbil, units a altes temperatures mitjançant frites de vidre.
Després de l'enllaç, es forma una cavitat de referència al buit extremadament petita i tancada hermèticament entre elles. Aquesta és la clau per aconseguir una mesura de pressió absoluta.
Aquesta estructura forma un condensador-paral·lel:
- Placa 1: l'elèctrode inferior fix (imprès al substrat ceràmic).
- Placa 2: l'elèctrode superior mòbil (el propi diafragma ceràmic, generalment metal·litzat).
- Dielèctric: Buit (dins de la cavitat de referència) i ceràmica.
Procés Operatiu
- Estat inicial:Sota el buit absolut, el diafragma ceràmic no es deforma i el valor de la capacitat és un valor inicial, C₀.
- Pressió aplicada:Quan la pressió externa (pressió absoluta) actua a la cara exterior del diafragma ceràmic, el diafragma experimenta una lleugera deformació de flexió cap a la cavitat de referència del buit.
- Canvi de capacitat:Aquesta deformació fa que disminueixi la distància entre les dues plaques del condensador.
Segons la fórmula del condensador de plaques paral·leles -C=εA/d (on ε és la permitivitat i A és l'àrea relativa de la placa), una disminució de la distància provoca un augment del valor de la capacitat C.
- Mesura del senyal:Un circuit dedicat posterior (normalment una - aplicació-Circuit integrat específic ASIC) detecta aquest minut canvi de capacitat, el converteix, l'amplifica i linealitza i, finalment, emet un senyal estandarditzat (com ara voltatge o senyal digital) proporcional a la pressió absoluta.
Etiquetes populars: sensor de pressió absoluta capacitiva de ceràmica, proveïdors de sensors de pressió absoluta capacitiva de ceràmica de la Xina
